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第209章 陈建国的决心（第1页）

汽车驶入张江高新区。

此时的张江远不像后世那样繁华，尚有大片的农村隐在竹林树荫之间，不过宽阔的水泥路面却宣告了此地的未来。

厂门口，“芯德国际”四个鎏金大字闪闪发光——合资厂的中文名便在远芯和德仪中各自取了一个字。

张汝金率领圣光峰，意大利人阿尔齐德，以及前来圈地的陈建国前来迎接。

陈建国自从回到远芯开始搞铜制程之后便一直往全国各地几个能搞化学气相沉淀的实验室跑，还跟着苏星河教授出国去溜达了一圈。拿他的话说就是磨刀不误砍柴工，先把理论上搞懂再说。

不过制程技术终究还是要落在实验上，远芯虽然也有一条组装起来的芯片线，但碍于设备和技术都落后，只能做权宜之计。

现在这边晶圆厂落地，陈建国当然要把实验室搬到这边来了。

“张博士。”苏远山刚下车便大步上前，握着张汝金的手情真意切地道：“辛苦了。”

“不辛苦。”张汝金比苏远山矮了半个头，他望着苏远山年轻的脸庞，自然也能感觉出这个年轻人对自己那种发自内心的尊敬——这其实困扰了他多时。

后来直到来到沪市，接触到了远芯的员工，继而参加年会，和李明柳，姜涛等高层熟悉后，他对苏远山的了解这才算多了一些。

当然了，随着陈建国这苏远山的亲传师兄过来，他对苏远山的认识这才算真正的立体起来。

也大概猜到了苏远山为什么会格外的“尊重”自己。

和其他人一一握手，互相介绍后，张汝金率先前行了一步：“走，我们去看看光罩厂。”

光罩，也叫光掩膜版，英文名字叫Mask。是一种由石英为材料制成的，可以用在半导体曝光制程上的母版。从芯片生产程序来说，它属于前期工序。

而这种从光罩母版的图形转换到晶圆上的过程，就像印钞机工作一样。

我们可以把光刻机想象成印钞机，把钞票母版的图形印到纸张上的过程，就像光刻机把芯片图形印到晶圆上一样，都需要有母版，这个母版在半导体制造上就是光罩。

为了制造一款芯片需要几百道工序，光罩也是不只一张的，原则上，工艺制程精度越高，需要的光罩数量也就越多。

譬如在后世，在14nm工艺制程上，大约需要60张光罩，7nm可能需要80张光罩甚至更多。

当然光罩的品质要求也是不同的，对于某些对精度要求很高的工序，相对应的光罩对精度的要求时最高的，比如晶体管相关的光罩，而对精度要求不那么高的工艺，比如Pad（打线孔）等要求就低一些，光罩价格也便宜一些。

先进制程对光罩精度的要求越来越高，同时不能有缺陷，所以光罩制造后的检查也很重要。

（注：上面对光罩的解释，引用的是全芯智造技术有限公司BD总监韩明的知乎回答节选，在此致谢——我自己没组织语言和加工是因为他说得太清楚了……）

因为光罩厂的生产工艺工序复杂，同时制程精度越高，需要的时间也就越长，因此它并不是一个晶圆厂的必备车间——因为晶圆厂完全可以委托其他光罩厂进行掩膜版制作，同时它还可以制造其他行业所需要的光罩。

之所以第一时间选择建光罩厂，张汝金也是看到了这一点。

目前国内尚且没有专业提供代工的光罩厂，张汝金能直接携带德仪的光罩技术过来，等建好后也能赚点小钱。

——当然，他是不知道，苏远山其实是打算在晶圆厂上先亏它个二十亿美刀的。

“光罩厂的主要设备几乎都掌握在霓国那边，包括核心的光罩写入机。还好购买过程中没有遇到太大的麻烦，霓国Nuflare公司那边表示已经开始装箱，马上就能运送过来。”

张汝金带着一行人沿着崭新的水泥路面走向远处的车间，一路走，一路介绍着情况。

苏远山抬头瞥了一眼，只见整个科技园区俨然一座正在快速兴起的城市，无数个工地忙碌非凡。

“算下来，最多半年时间，光罩厂就能投入运行了。”

“嗯，到时候我们去跑跑业务，干脆让华晶那边把光罩厂撤了。”苏远山开着玩笑道：“一次流片过程中，光罩的制作成本太高了，华晶技术不行，成本更高。”

“主要还是技术。”张汝金笑道，同时转向陈建国：“陈博士，听说你有一项掩膜版的专利？”

陈建国有些不好意思的点头：“当初在联电和他们联合制作掩膜版的时候，有点小灵感。算不了什么大突破。”

“呵呵，有点进步就是好的。哪怕一个专利只够为一片晶圆减少一美元成本，这也是增加了竞争力啊。”

“那是。”苏远山替师兄接过话，他知道自己师兄不善言辞，笑道：“特别是时间成本，在半导体领域，时间是很大的成本。”

参观完厂区已经临近六点，或许是老听远芯的员工说苏远山从来都是吃员工餐，因此张汝金也就没有另外安排，而是直接在厂里食堂请了苏远山一顿。

不过他倒也不好意思请大家吃铁盘盒饭，好歹摆了一桌，只不过菜还是大锅菜罢了。

嗯……苏远山当然不挑剔，只不过这边的饭菜他不怎么习惯。

晚饭后，张汝金把苏远山等人送出园区，并定下明天上午十点，苏远山再次到他办公室会面。

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