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701 解决难题（第1页）

701解决难题

701

江岚眼眶微红得看着他，感动于顾北舟对自己的“维护和孝心”，下意识就要说出自己的怀疑和江南假死骗人一事。

但她转念一想，江南现在丧心病狂什么都敢做，甚至苏雅婷和柯敏惨烈的下场也有他的手笔，如果自己直接告诉顾北舟，岂不是把舟舟置于江南的威胁之下，谁知道到时候江南会怎么对付他。

江南有后台有名声有手段，舟舟现在可只有自己了。

所以她的嘴唇颤抖半响，最终还是把想说的话咽了回去，只故作无事得勉强笑笑。

“只是怀疑而已，当不得真。况且昨晚没找到真凶、监控探头又用不上，这事儿还是算了。”

“可是您摔成那样，医生都说了这腿没有两三个月根本养不好……”顾北舟还是不放心。

“好了。”江岚安抚得拍了拍床单，示意顾北舟坐在自己身边，自然得转移话题。

“你还没说呢，昨晚找我那件事，你又发现什么了？”

想到顾北舟最近的所作所为，江岚欣慰得笑了起来。

虽说她那几个徒弟现在看来都不是省油的灯，江南更是心肠歹毒肆意妄为。

但还好，舟舟依旧是那个天资出众善良孝顺的少年，哪怕之前因为争宠做了些孩子气的错事，但比起不择手段冲动行事的关容和罗菲，还有丧心病狂到对亲妈出手的江南，老老实实做科研专心工作的顾北舟简直乖巧正直得不像话。

自从之前被全网骂比不上江南，被关容肖芙等人明里暗里针对，舟舟就像换了个人。不仅为人处世像瞬间长大了一般进退有度沉稳下来，更是一夜之间脱胎换骨，不仅在科研学术上进步神速，还为她提供了不少解决难题的思路。

若不是有江南拦在前面，以舟舟表现出的天资和努力程度，恐怕成就远不止于此……

像是丝毫没看出江岚眼底的唏嘘之意，顾北舟一拍脑袋，转身从包里掏出早就准备好的文件。

“江姨，您之前提过，我们正在攻关的第五代深紫外光刻机目前卡在了两个相互关联的核心难题上。”

顾北舟将文件递过去，神情庄重又严肃。

“第一个是光源的功率和稳定性问题。”他指着文件上的图表，“我们的激光等离子体光源，在产生极紫外波段的光时，转换效率极低，且输出功率波动较大，难以满足高强度、长时间晶圆曝光的需要。功率不足直接导致曝光时间延长，良品率下降；而功率不稳则会在晶圆上形成难以预测的缺陷。”

“第二个，也是更加棘手的是随之而来的热管理和热变形问题。”顾北舟翻到下一页，上面是复杂的热力学模拟图，“高功率激光轰击锡滴产生等离子体的过程，会释放巨大热量。这些热量不仅对收集光学元件的涂层寿命是严峻考验，更关键的是会引起光学系统乃至整个工件台的微观热变形。哪怕是纳米级别的形变，也足以让光刻精度前功尽弃，导致线路模糊或错位。目前我们的冷却系统效率根本跟不上热积累的速度。”

701解决难题

江岚的神情逐渐凝重起来，这的确是困扰她团队数月、让她寝食难安的核心瓶颈。

顾北舟点出的这些不仅准确概括她遇到的难题，还意识到了连锁反应的严重性。

江岚意识到，能分析到这一步，恐怕顾北舟是真的研究出了什么不得了的成果。

她迫不及待得身体前倾着急询问：“那你提出的解决思路是？”

顾北舟从容得翻到文件后方解决方案的部分：“针对光源问题，我设想了一种多级预脉冲激光优化方案。通过调整主脉冲激光之前的一系列微弱的预脉冲序列，可以更精确地控制锡滴的形状和分布，使其在受到主脉冲冲击时，能更高效地转化为理想的等离子体状态，理论上可以提升约15%的光源功率和显著改善稳定性。相关参数模拟和初步算法都在附录里。”

“至于热管理，”顾北舟声音沉稳，眼神中闪烁着自信的光芒，“我认为可以引入一种基于相位改变材料的主动式微循环散热系统。在关键的热积聚点，比如收集镜座内部，嵌入微型的PCM胶囊。当温度升高至材料熔点时，PCM吸收大量热量熔化；当系统冷却时，它又凝固放热。这种‘潜热’吸收方式，可以非常高效地平滑温度峰值，再配合优化后的微流体通道进行热量交换，能将光学元件的热变形控制在皮米级别。材料的筛选、微型化结构设计以及系统集成方案，我也做了初步的可行性分析和模拟验证。”

他娓娓道来，提出了目前整理出的最先进、最创新且具体的解决方案。

江岚越听眼睛越亮，这些想法无疑直接切中要害，让她有种柳暗花明又一村的感觉。

江岚激动得攥紧手中那份沉甸甸的文件，手指发颤得快速翻阅着里面详实的数据、复杂的公式和大量的模拟实验结果图表。

“这……舟舟，你知道你研究的这些意味着什么吗？你解决的很可能是当今国际上最前沿的光刻机技术难题，在你之前从没有人能走到这一步！尤其是这个PCM微循环散热的概念，非常巧妙！”

江岚难以置信地抬起头，激动得不停追问细节，“不过关于预脉冲序列的时序控制精度，你是怎么考虑的？还有PCM材料在长期循环下的可靠性问题……”

顾北舟眼眸微闪，似乎早就料到她会提问，直接流畅得回答起来，甚至不用看文件就能精准说出勘测数据和光点模型。

他不仅解释了时序控制如何与高速相机和光谱仪反馈形成闭环调控，还详细分析了数种候选PCM材料的疲劳特性及其封装保护策略。

看得出来，顾北舟并不是临时起意，而是经过了长时间的深思熟虑和大量案头工作，对江岚拿着的这份文件熟悉到了极点。

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